Tecnologie Microelettroniche
Dipartimento:
DIET
Tipo di struttura:
Tecnologie Microelettroniche
Indirizzo:
Via Eudossiana, 18
Ubicazione:
edificio B, quarto piano
Responsabile dell'attività di ricerca Nome Cognome:
Giampiero De Cesare
Responsabile dell'attività di ricerca telefono:
06.44585431
Responsabile dell'attività di ricerca email:
Responsabile tecnico Nome Cognome:
Rocco Crescenzi
Responsabile tecnico email:
Descrizione dell'attività svolta:
Realizzazione e caratterizzazione di dispositivi a film sottili per applicazioni di elettronica a larga area e sensoristica, deposizione film sottili per P.V.D, attacchi chimici wet and dry, processi di fotolitografia U.V.
Attrezzature presenti:
▫ bagno ad ultrasuoni
▫ cappa di sviluppo e fissaggio
▫ compressore
▫ evaporatore termico in vuoto
▫ forno
▫ fotoplotter
▫ generatore di radiofrequenza alimentato ad Argon
▫ Ossigeno, Freon
▫ Impianto plasma etching
▫ lampade UV
▫ lavavetreria
▫ mask aligner
▫ microsaldatrice ad ultrasuoni
▫ microscopio ottico
▫ microtaglierina per wafer da 3''
▫ piastra riscaldante
▫ pistola ad aria compressa
▫ pompa a vuoto
▫ rugosimetro
▫ sistema filtrante
▫ spinner
▫ sputtering
▫ vetreria di laboratorio
▫ cappa di sviluppo e fissaggio
▫ compressore
▫ evaporatore termico in vuoto
▫ forno
▫ fotoplotter
▫ generatore di radiofrequenza alimentato ad Argon
▫ Ossigeno, Freon
▫ Impianto plasma etching
▫ lampade UV
▫ lavavetreria
▫ mask aligner
▫ microsaldatrice ad ultrasuoni
▫ microscopio ottico
▫ microtaglierina per wafer da 3''
▫ piastra riscaldante
▫ pistola ad aria compressa
▫ pompa a vuoto
▫ rugosimetro
▫ sistema filtrante
▫ spinner
▫ sputtering
▫ vetreria di laboratorio