aSiDaS
Dipartimento:
DIET
Tipo di struttura:
aSiDaS
Indirizzo:
Via Eudossiana, 18
Ubicazione:
edificio B, piano terrazzo
Responsabile dell'attività di ricerca Nome Cognome:
Giampiero De Cesare
Responsabile dell'attività di ricerca telefono:
06.44585431
Responsabile dell'attività di ricerca email:
Descrizione dell'attività svolta:
Deposizione di film sottili si silicio amorfo idrogenato intrinseco e drogato tramite "Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition"
Attrezzature presenti:
▫ apparecchiatura per PECVD in vuoto
▫ compressore
▫ piastra riscaldante
▫ pistola ad aria compressa
▫ pompa a vuoto